清洗間安全管理規(guī)范
為保證超凈清洗間的整潔有序,確保工作人員和工作環(huán)境的安全,根據(jù)超凈車間清洗間實(shí)際情況,特制定以下清洗臺(tái)安全管理規(guī)范:
1 、清洗間負(fù)責(zé)人員負(fù)責(zé)監(jiān)管清洗間的工作情況,有權(quán)糾正和制止違反清洗間管理的人員的行為。
2、有機(jī)與無機(jī)化藥必須在相應(yīng)的清洗間分開使用,有機(jī)與無機(jī)洗間分別獨(dú)立使用,不得串用。所有使用化學(xué)藥品進(jìn)行的濕法刻蝕、腐蝕工藝必須在清洗間操作。原則上有機(jī)清洗需在有機(jī)清洗臺(tái)進(jìn)行,無機(jī)清洗、酸堿腐蝕在無機(jī)清洗臺(tái)進(jìn)行。嚴(yán)禁在同一通風(fēng)柜中進(jìn)行有機(jī)和無機(jī)清洗。
3、清洗操作時(shí),注意個(gè)人防護(hù)意識,根據(jù)操作規(guī)程,無機(jī)清洗時(shí),必須佩帶完整的防護(hù),包括:防酸堿手套、圍裙、眼鏡、面罩、護(hù)袖等。有機(jī)清洗時(shí),若使用有毒或劇毒化藥,如:三氯乙烯、四氯化碳、氯苯等,必須佩帶完整的防護(hù)。任何清洗工藝,必須佩帶完好的乳膠手套。所用個(gè)人防護(hù)用品使用完畢后,必須用水沖洗干凈,避免化藥殘留在防護(hù)用品上,影響他人使用,使用完畢后整齊放回原位。
4、使用化學(xué)藥品必須預(yù)先了解所用化藥的使用注意事項(xiàng)和相應(yīng)的應(yīng)急措施。進(jìn)行清洗操作前必須看化學(xué)藥品標(biāo)識,正確使用化學(xué)藥品。
5、清洗操作時(shí),要節(jié)約使用化藥和無塵紙等耗材。新液化藥只能用于清洗樣品,嚴(yán)禁新液用于其他用途。要選用適合的器皿,不得用大的器皿清洗小的樣品?；幱昧繀⒖?液面蓋過樣品不要超過1cm。使用新液化藥順序:先使用已開啟試劑,已開啟試劑使用完畢后再開啟新的試劑,并在使用完畢后的空瓶表面寫上“廢”字。
6、清洗操作時(shí),加熱、冷卻、剝離等需要離開時(shí),在無人看管情況下,放置在公共位置的任何溶液必須放置標(biāo)識牌(使用人、化藥名稱、日期、時(shí)間),放置的位置不得影響其他人工作,清洗完畢后,請及時(shí)用酒精或丙酮擦除標(biāo)識牌,沒有標(biāo)識的行為和標(biāo)識牌沒有及時(shí)清除將視為違規(guī)行為。
7、取新液時(shí),要把新液桶外面的包裝塑料袋和橡皮筋放入垃圾桶,嚴(yán)禁放回新液柜。嚴(yán)禁把空新廢液桶放回新液柜中。無機(jī)廢液桶要放置在裝有廢液回收桶的藍(lán)盒子里,有機(jī)廢液桶要放置在空廢液瓶整理箱或廢液柜中。用戶如有自己的化藥新液,請做好標(biāo)識,放置在用戶相應(yīng)的新液柜中,遵循:有機(jī)與無機(jī)分開,酸、堿分開放置原則。有機(jī)廢液柜未放滿時(shí),嚴(yán)禁把廢液瓶放置在地面(只有廢液柜放滿時(shí),才可以把廢液整齊放置在地面)。
8、在使用8槽清洗機(jī)進(jìn)行清洗樣品時(shí),必須使用指定的公共清洗器皿。嚴(yán)禁在未經(jīng)允許的情況下使用別人的清洗器皿,個(gè)人和公共清洗器皿使用完畢必須清洗干凈,用氣槍吹干后,放回指定位置。
9、清洗廢液、腐蝕廢液、光刻所用廢液必須按照要求和指示倒入相應(yīng)的廢液回收桶,擰緊廢液桶蓋時(shí),要向反方向回旋半圈,桶蓋要松。處理無機(jī)廢液時(shí),要注意選擇好相應(yīng)的廢液桶,倒廢液之前加入5倍以上的去離子水稀釋(濃硫酸除外),其中廢液稀釋的水包括原溶液中的水。稀釋時(shí)注意:把廢液加入水中稀釋(務(wù)必注意順序)。無機(jī)廢液傾倒時(shí),要雙手進(jìn)行同一操作。不要一只手拿廢液或空燒杯,一只手?jǐn)Q松或擰緊廢液桶蓋。
10、廢濃硫酸桶中存放廢液有:(1)、廢濃硫酸占總體積大于50%以上的廢液。(2)、廢純濃硫酸。兩者廢液都不需要稀釋,直接倒入廢濃硫酸桶。如果廢液中濃硫酸總體積比小于50%,則需要加5倍以上去離子水稀釋(廢濃硫酸加入水)倒入廢酸桶。
11、清洗操作時(shí),從一個(gè)清洗臺(tái)到另一個(gè)清洗臺(tái)時(shí)間間隔一分鐘以上,要關(guān)閉相應(yīng)清洗臺(tái)通風(fēng)門。如果清洗完畢離開清洗間,清理臺(tái)面并檢查通風(fēng)門、燈、超聲機(jī)、水浴機(jī)的開關(guān)電源是否關(guān)閉。超聲機(jī)使用完畢后及時(shí)關(guān)上超聲機(jī)蓋子。
12、有機(jī)廢液回收時(shí),只有丙酮、異丙醇、無水乙醇可以混合回收,其他如:三氯乙烯、四氯化碳、氯苯等有毒化藥要單獨(dú)回收并做好標(biāo)識。有機(jī)廢液處理時(shí),要在廢液桶上寫好標(biāo)識,如果別人已寫好你需要做的標(biāo)識,而且廢液桶未裝滿,可以不寫標(biāo)識,直接倒入廢液桶。
13、清洗完畢后,要整理并清洗臺(tái)面,并更換一次性乳膠手套。清洗前后要在記錄本上分別登記完整的開始和結(jié)束時(shí)間、目的、化藥名稱等記錄。
14、廢棄手套、無塵布、無塵紙等請放入垃圾桶,所用化學(xué)藥品放回原處,用水沖清洗臺(tái)面并用無塵紙擦凈,再用壓縮氮?dú)獯蹈汕逑磁_(tái),保持清洗臺(tái)整潔干爽。禁止在清洗臺(tái)上遺留任何廢棄物,并及時(shí)關(guān)閉清洗臺(tái)的通風(fēng)門。清洗間使用人員有義務(wù)及時(shí)清理所用清洗臺(tái)遺留的廢棄物。
15、在傾倒廢液時(shí),要注意觀察是否有廢液遺撒地面,或在清洗結(jié)束后,檢查是否有水或其他液體灑落在清洗臺(tái)附近的地面,若有一定要及時(shí)用無塵紙或其他方式處理干凈。
16、清洗操作時(shí),使用氫氟酸(hf)、氟化銨(nh4f)或(boe)含有氟離子的化藥時(shí),必須用塑料的燒杯、量筒等器皿,禁止用玻璃及石英器皿。
17、配制無機(jī)溶液時(shí),遵循:一、有水在配制溶液中的,先倒水,后倒入密度小的化藥,再到入密度大的化藥;二、沒有水在配制溶液中的,先倒密度小的化藥,再倒入密度大的化藥。密度的大小可以根據(jù)分子量的大小區(qū)分,一般情況下分子量大的化藥密度大,分子量小的化藥密度小。
18、溶液加熱時(shí),要等到溫度升到設(shè)定溫度時(shí),再放上器皿去加熱,加熱完畢后,關(guān)閉電源,等溶液冷卻到室溫才可以取出。(一般:有機(jī)與無機(jī),酸、堿不能同時(shí)加熱操作)。
19、在清洗時(shí),不慎把大量化藥灑在地面或發(fā)現(xiàn)有大量化藥在地面,應(yīng)立即處理。boe灼傷眼睛或皮膚,一份鐘內(nèi)用六氟靈沖洗,再用水沖洗,而后立即就醫(yī)。
20、未經(jīng)許可的情況下,不得擅自攜帶化學(xué)藥品進(jìn)出超凈間。
21、未通過培訓(xùn)和考核的人員不得擅自使用清洗設(shè)備。
22、如果在清洗過程中,有任何疑問,應(yīng)及早主動(dòng)與相關(guān)工藝負(fù)責(zé)人人溝通。
編寫: 審核:批準(zhǔn):
